国家高技术研究发展计划（863计划）

国家高技术研究发展计划（863计划）引导项目“超大规模集成电路制造用铝和钽溅射靶材产业化关键材料技术研究”项目，列入国家高技术研究发展计划（863计划）引导项目..

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十二五国家02科技重大专项

“45-28nm配线用超高纯系列溅射靶材的开发与产业化”项目，列入国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项（02重大专项）。

更多 2015-02-05