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  • 国家高技术研究发展计划(863计划)

    国家高技术研究发展计划(863计划)引导项目“超大规模集成电路制造用铝和钽溅射靶材产业化关键材料技术研究”项目,列入国家高技术研究发展计划(863计划)引导项目..

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  • 十二五国家02科技重大专项

    “45-28nm配线用超高纯系列溅射靶材的开发与产业化”项目,列入国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项(02重大专项)。

    更多 2015-02-05

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