十三五国家02科技重大专项

“集成电路靶材用超高纯金属材料产业化技术”项目，列入国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项（02重大专项）。

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十三五国家02科技重大专项 “20-14nm先导产品工艺开发”项目

十三五国家02科技重大专项“20-14nm先导产品工艺开发”项目，列入国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项（02重大专项）。

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国家战略性新兴产业发展专项资金计划

“年产1万个高线代平板显示器及先进封装用靶材产业化”项目，列入国家战略性新兴产业发展专项资金计划。

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国家电子信息产业发展基金项目

“超大规模集成电路PVD工艺制造用铝和钽溅射靶材的产业化”项目，列入国家工信部电子信息产业发展基金项目。 

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十一五国家02科技重大专项

“300mm极大规模集成电路用Al、Ti、Ta 靶材制造技术研究与开发”项目，列入十一五国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项（02重大专项..

更多 2020-03-10