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靶材的清洗包装技术 2015-02-05     总浏览:12374

下游客户的生产环境、溅射反应机台腔体对溅射靶材的洁净程度要求很高,公司运用自主设计的靶材全自动清洗机进行反复的产品清洗,在真空环境下使产品干燥,用于生产半导体芯片的溅射靶材表面洁净度能够达到电子级水平。




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